Epitaxia SiC | Alta Uniformidade&Baixo Defeito | Power Wafertech

Pastilhas SiC

Epitaxia SiC

Pastilhas epitaxiais SiC cultivadas por CVD, proporcionando excelente uniformidade de espessura e baixa densidade de defeitos. Projetado para dispositivos de energia de 600V a 10kV (SBDs, MOSFETs, IGBTs), permitindo aplicações de alto desempenho em veículos elétricos, veículos industriais e energia renovável.
  • Polítipos — 4H-SiC (homoepitaxia) · 3C-SiC (homo- e heteroepitaxia)
  • Condutividade — Tipo N, tipo P, Semi-isolante
  • Diâmetros — 2″, 4″, 6″, 8″
  • Faixa de espessura — 0,5 – 200μm (personalizável)
  • Estrutura — Multicamadas personalizadas, camadas buffer, perfis de doping precisos
Especificações Detalhadas

Especificações por tipo de pastilha.

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Parâmetro Epitaxia 4H-SiC
Substrato
Diâmetro 2", 4", 6", 8"
Orientação On-axis, off-axis
Condutividade Tipo N Tipo P Semi-isolante
Resistividade 0,015 – 0,028 Ω·cm ≤0,3Ω·cm > 1E8 Ω·cm
Rugosidade da Superfície ≤ 0,2nm
MPD ≤ 1cm⁻²
Camada Epi
Condutividade Tipo N Tipo P Semi-isolante
Faixa de espessura 0,5 ~ 200μm (Personalizável)
Uniformidade da Espessura ≤ 10% ≤10% ≤10%
Concentração de Porta-Aviões 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³
Uniformidade do Carrier ≤ 20% ≤ 20% ≤20%
Aplicações

Onde essa pastilha entrega valor

01

EV e Carregamento Rápido

Camadas de epi de alta voltagem e baixa resistência para motorizações de veículos elétricos e sistemas de carregamento rápido. Otimizado para MOSFETs SiC de 650V-1700V e diodos JBS, apresentando alta uniformidade de espessura de ≤4% e perfis de dopagem precisos.

02

Energia Industrial e Renovável

Pastilhas de epi confiáveis projetadas para conversão de energia em ambientes adversos e máquinas pesadas. Projetado para MOSFETs SiC de alta potência, SBDs e módulos de potência 1200V+ em inversores solares, armazenamento de energia e sistemas de trânsito ferroviário.

03

Energia de Centros de Dados de IA

Possibilitando camadas de epinefriã com perda de comutação ultra-baixa para fontes de alimentação de servidor (PSUs) de alta densidade. Adaptado para MOSFETs de trincheira e retificadores de alta eficiência, entregando baixos BPDs e rugosidade superficial mínima para máxima eficiência energética.

04

Ultra-Alta Tensão (Grade & ESS)

Camadas epitaxiais espessas para redes inteligentes de próxima geração e sistemas de armazenamento de energia (ESS). Suportando IGBTs de 10kV+, GTO e junções PN com nossa capacidade de epinefrina ultra-espessa variando de 30 a 200μm.

FAQ

Perguntas comuns sobre este produto

Respostas rápidas sobre seleção de materiais, personalização, testes e pedido.

Para a homoepitaxia padrão 4H-SiC, a concentração de portadores pode ser controlada em aproximadamente 1×10¹⁴ a 1×10¹⁹ cm⁻³. Isso depende do tipo de condutividade (tipo N ou tipo P) e do seu projeto específico de epi.

Para a homoepitaxia padrão 4H-SiC, a uniformidade da espessura pode ser controlada até aproximadamente ≤10%. Para estruturas de epi SiC selecionadas do tipo P, a uniformidade pode chegar a ≤4%. O desempenho real depende do tamanho da pastilha, espessura e estrutura do epi.

Sim. O PWG pode desenvolver estruturas epitaxiais multicamadas personalizadas, incluindo camadas tampão, camadas de dispersão de corrente, camadas de canais, camadas barreira e outras estruturas específicas do dispositivo.

Sim. Oferecemos camadas epitaxiais SiC de 30 a 200 μm de espessura para aplicações de ultra-alta tensão (até 10kV+). Espessura, concentração de doping e uniformidade são otimizadas de acordo com a tensão de ruptura alvo.

Implementamos controle rigoroso de processos de epi para minimizar Discordâncias do Plano Basal (BPDs) e Falhas de Empilhamento (SFs). A densidade típica de defeitos é mantida em níveis líderes do setor para garantir alto rendimento e confiabilidade do dispositivo. Os dados completos do mapeamento estão disponíveis mediante solicitação.

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