EV e Carregamento Rápido
Camadas de epi de alta voltagem e baixa resistência para motorizações de veículos elétricos e sistemas de carregamento rápido. Otimizado para MOSFETs SiC de 650V-1700V e diodos JBS, apresentando alta uniformidade de espessura de ≤4% e perfis de dopagem precisos.